山东石墨塞棒

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　　山东石墨塞棒为非金属制品，作为碳弧气刨切割工艺中的一张******的焊接前的切割耗材，是由碳、石墨加上适当的粘合剂，通过挤压成型，经2200℃焙烤旋段后镀一层铜而制成，耐高温，导电性良好，不易断裂，适用于将金属切割成符合要求的形状。

　　石墨塞棒常用于高温真空炉的电热体，较高使用温度可达3000℃，在高温下易于氧化，除尘空外，只能在中性气氛或还原性气氛中使用。其热膨胀系数较小，热导率较大，耐高温、耐极冷极热性好、价格较为便宜。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的山东石墨坩埚、山东石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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发布时间：2021/12/9 8:37:55