山东高纯石墨

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　　石墨含量在99.9%以上的石墨叫山东高纯石墨。高纯石墨具有电阻系数小、耐高温、抗热震性好、导电、导热膨胀系数小、自润滑，易于精密机加工的优点，鳞片洁净完整、片薄且韧性好，物理化学性能好，是理想的无机非金属材料。

　　合成的高纯石墨与天然高纯石墨相比，纯度更高、粒径更小、厚度处在纳米尺度范同内，但其经向宽度可以达到数个到数十个微米，具有超大的形状比，并且保持了石墨原有的平面形碳六元环共轭晶体结构，具有良好的机械强度、导电、导热性能以及良好的润滑、耐高温特性。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用山东石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的山东石墨坩埚、山东石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯山东石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。