山东石墨盒

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　　山东石墨盒采用专用材料，可以让石墨盒产品比普通石墨材料产品耐用超过2倍以上，使用寿命更加长久，承受超过2200℃的高温！

　　石墨盒具有以下特征：

　　1、加工速度，高速铁粗加工较铜块3被，高速铁精加工较铜块5倍；

　　2、可加工性能好，能实现复杂的几何造型；

　　3、重量轻，密度不足铜的1/4，电池容易夹持；

　　4、可有效减少单个电极的数量，因为可捆绑做成组合电极；

　　5、良好的热稳定性，可针对山东石墨坩埚即热急冷的使用条件，特别配方；

　　6、良好的耐冲击性能，可有效保证产品质量的可靠性。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、山东石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。