山东石墨漏筒

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　　石墨漏筒的产品特性：

　　1、机械强度较高；

　　2、具有良好的滑动性能；

　　3、良好的抗热震性；

　　4、良好的热稳定性；

　　5、具有较好的导热率；

　　6、低润湿性；

　　7、化学稳定性较强；

　　8、易于加工。

　　我公司生产的石墨漏筒可以根据客户的要求记性加工各种规格的产品，我公司的设备，技术成熟。长期以来，我工资生产的石墨漏筒以较好的品质备受消费者喜欢。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用山东石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的山东石墨坩埚、山东石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯山东石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。